(1)废气本身或处理系统积累的有机物浓度高，达到了被净化物质(或混合物)的爆炸极限值，电极放电时造成设备爆炸。
(2)废气的预处理不到位，废气中的油募或漆募等颗粒物进入低温等离子体净化设备，沉积在电极或器壁上，积累到一定程度后会引起设备着火。
(3)某些化合物在低温等离子体环境中发生聚合反应，在电极或器壁沉积结焦，积累到一一定程度也会引起设备着火。
关于低温等离子体技术使用安全性的建议
(1)低温等离子体技术适用于低浓度VOCs废气(一般直低于300mg/m3)治理，且废气浓度应远低于爆炸下限，确保不存在爆炸危险。
(2)对于含油雾或漆雾等颗粒物的废气，应配置过滤等适宜的预处理工艺，确保低温等离子体处理设备的安全性。
(3)启动低温等离子体单元之前，需先启动风机吹扫处理系统，以防止放电火花引燃积聚的高浓度有机物。
(4)对废气处理低温等离子体净化设备的电极和器壁上的沉积物应及时进行清理维护。
(5)从低温等离子产品生产和使用全过程强化产品设计、制造、运行维护各个环节的监测、预报警、应急处置等安全措施。
