1.Vocs浓庭较高时,低温等离子体般不宜作为独立的处理单元应用,需与其他处理单元联合使用,通常作为级净化单元才能取得较好的处理效果;
2.废气的预处理不到位时,废气中的油露或漆雾等颗粒物进入低温等离子体净化设备，沉积在电极或器壁上,积累到定程度后会引起设备着火;
3.有些化合物在低温等离子体环境中发生聚合反应,在电极或器壁沉积结焦,积累到一定程度也会引起设备着火;
4.易产生火花放电，在高峰值电压下,反应器易产生火花放电,火花放电不仅增大电能消耗,而且破坏放电的正常进行,净化效率低,还存在危险性;
5.废气本身或处理系统积累的有机物浓度高,达到了被净化物质的极限,电极放电时造成设备损坏;
6.对于低温等离子体设备对设备部件的构型设计、制造精度、严密性等要求很高:如对电场频率、电压、高频的脉冲等参数,成套设备中如果其中的某个参数达不到要求，如电压电低频率过高或过低等会对离子体的产生最造成很大的影响。
低温等离子技术是在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，一是在产生等离子体的过程中，高频放电所产生的瞬间高能足够打开一些有害气体分子的化学能，使之分解为单质原子或无害分子;二是等离子体中包含大量的高能电子、正负离子、激发态粒子和具有强氧化性的自由基，这些活性粒子和部分臭气分子碰撞结合，在电场作用下，使臭气分子处于激发态。当臭气分子获得的能量大于其分子键能的结合能时，臭气分子的化学键断裂，直接分解成单质原子或由单一原子构成得无害气体分子。
