(1)废气本身或处理系统积累的有机物浓度高，达到了被净化物质(或混合物)的爆炸极限值，电极放电时造成设备爆炸。
(2)废气的预处理不到位，废气中的油募或漆募等颗粒物进入低温等离子体净化设备，沉积在电极或器壁上，积累到一定程度后会引起设备着火。
(3)某些化合物在低温等离子体环境中发生聚合反应，在电极或器壁沉积结焦，积累到一一定程度也会引起设备着火。
关于低温等离子体技术使用安全性的建议
(1)低温等离子体技术适用于低浓度VOCs废气(一般直低于300mg/m3)治理，且废气浓度应远低于爆炸下限，确保不存在爆炸危险。
(2)对于含油雾或漆雾等颗粒物的废气，应配置高效过滤等适宜的预处理工艺，确保低温等离子体处理设备的安全性。
(3)启动低温等离子体单元之前，需先启动风机吹扫处理系统，以防止放电火花引燃积聚的高浓度有机物。
(4)对电极和器壁上的沉积物应及时进行清理维护。
(5)从低温等离子产品生产和使用全过程强化产品设计、制造、运行维护各个环节的监测、预报警、应急处置等安全措施。
