本工艺在电催化总的设计概念下，分三个即独立又混成的激发系统：微波激发区、等离子激发区、极板激发区。
低温等离子体技术处理污染物的原理为：在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子物质，或使有毒有害物质转变成无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。因其电离后产生的电子平均能量在10ev，适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得十分快速。
等离子废气处理设备工作原理：
采用脉冲高压高频等离子休电源和齿板放电装置，使其产生高强度、高浓度、高电能的活性自由基，在毫秒级的时间内，瞬间对有害废气分子进行氧化还原反应，将废气中的大部分污染物降解成二氧化碳和水及易处理的物质。利用催化氧化剂的强氧化性和高吸附性，持续地对等离子休未处理尽的污染物和生成的物质进行催化氧化反应，使有害废气经过多级净化后终达标排放。
新颖的结构设计将低温等离子体的发生装置和催化氧化装置有机地结合在同一净化设备内，限度地发挥了复合净化的效能，使之满足占地小，重量轻，能耗少，效率高的设计要求。
等离子废气处理设备功能特点：
稳定，维护方便，使用寿命长。
具有一次性净化率高，能同时净化多种污染物。
设备体积小，结构紧凑，工艺成熟。
设备投资少，运行成本低。
净化效率高，无二次污染。
防火性能采用开关，电源，电路三重自动保护。
